【48812】富乐德请求一种Faceplate部件清洗设备及清洗药水配方专利可完成对部件进行接连冲刷

时间: 2024-08-02 00:46:42 |   作者: 氟表面活性剂

  （原标题：富乐德请求一种Faceplate部件清洗设备及清洗药水配方专利，可完成对清洗部件进行接连冲刷）

  金融界2023年12月11日音讯，据国家知识产权局公告，安徽富乐德科技开展股份有限公司请求一项名为“一种Faceplate部件清洗设备及清洗药水配方“，公开号CN117181694A，请求日期为2023年5月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种Faceplate部件清洗设备及清洗药水配方，涉及到半导体设备清洗技术领域，包含装置在支撑底座上的纯水罐、药水罐和清洗罐：还包含动力件，用于别离独自将会所述纯水罐和所述药水罐内的药水和纯水注入所述清洗罐中并带动所述清洗罐内的液体进行快速上下往复活动，以完成对清洗部件进行接连冲刷。本设备可对部件进行快速地来回冲刷，快速缩短了来回冲刷间隔时刻，使得固执杂质快速掉落，一起也快速缩短了药水清洗时刻，且本动力件可别离对纯水罐内的纯水和药水罐中的药水进行部件的冲刷操作，无需装置多个驱动电机、动力缸以及其相关部件，可减小本钱。

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